300 x 150 x 75 mm
Ux= 2.5+L/25 μm
Uy= 2.5+L/15 μm
X & Y Repeatability < 2.5 μm
光學尺解析度=2.0 μm 倍率: 10x, 20x, 40, 50, 100X
1.投影屏尺寸:直徑315MM,刻有米字線
2.投影屏旋轉範圍 :0~360度,角度顯示分辨率為1\'或0.01度
3.平面及表面輪廓精度:0.08%
4.X,Y 工作台行程:200mm x 100mm
或250mm x 150MM,Z座標行程大於等於95mm (調焦用
5.精密光學物鏡組:10X,20X,50X
6.工作台採用高精度性導軌
7.工作台採用無牙螺桿摩擦傳動,更配備快速移動裝置
8.工作台採用光學玻璃並經過精密研磨處理,而四角設有調整螺絲孔,可調整玻璃表面的平整度,以確保測量精度
9.X,Y軸光學尺顯示分辨率為0.001mm
10.配備多功能型顯示器
10.圓形轉盤旋轉範圍:0~360度,游標分辨率為10'
11.透射與反射照明光源圴為24V 150W的鹵鎢燈
12.冷卻方式為強制風冷,配備有四只軸流風扇
13.可連接2D量測品管電腦軟體及RS232專用印用機
 
   
   
     
     
     
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